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廣州南創(chuàng)廠家供稱重傳感器、壓力傳感器和位移等傳感器
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稱重傳感器電路補(bǔ)償機(jī)原理及補(bǔ)償電阻計算

  一、概述
  應(yīng)變式稱重傳感器 (以下簡稱為“稱重傳感器”) 的電路補(bǔ)償與調(diào)整,是生產(chǎn)過程中的核心技術(shù)與關(guān)鍵工藝,它對企業(yè)生產(chǎn)出一貫符合稱重傳感器國家標(biāo)準(zhǔn)要求的產(chǎn)品至關(guān)重要。國內(nèi)外處于市場引導(dǎo)者地位的企業(yè),都對電路補(bǔ)償與調(diào)整技術(shù)和工藝研究有較大投入,研究出多項電路補(bǔ)償與調(diào)整新技術(shù)、新工藝,并成功應(yīng)用到生產(chǎn)工藝流程中,改善了稱重傳感器的溫度性能,提高了準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性。其中以美國 BLH 公司研究的靈敏度溫度補(bǔ)償技術(shù)與工藝;美國 VISHAY 公司研究的利用半導(dǎo)體應(yīng)變計進(jìn)行線性補(bǔ)償技術(shù)與工藝(美國專利 No3.034346 號);德國 PHILIPS 公司研究的利用鎳箔應(yīng)變計進(jìn)行線性補(bǔ)償同時兼顧靈敏度溫度補(bǔ)償技術(shù)與工藝最具代表性,這些新技術(shù)與新工藝在稱重傳感器制造工藝發(fā)展史上引起過較大變革,推動了稱重傳感器制造工藝技術(shù)的發(fā)展,時至今日依然被世界各國稱重傳感器制造企業(yè)所應(yīng)用。
  深入了解稱重傳感器電路補(bǔ)償與調(diào)整中的零點(diǎn)溫度補(bǔ)償、零點(diǎn)輸出調(diào)整、線性補(bǔ)償、靈敏度溫度補(bǔ)償機(jī)理,熟悉溫度補(bǔ)償電阻的計算公式和影響因素,并結(jié)合本企業(yè)生產(chǎn)工藝流程特點(diǎn)制定科學(xué)合理的各項補(bǔ)償精度的內(nèi)控指標(biāo),將其應(yīng)用到各項溫度補(bǔ)償工藝中,對保證制程穩(wěn)定,生產(chǎn)出溫度性能符合稱重傳感器國家標(biāo)準(zhǔn)要求的產(chǎn)品具有一定的指導(dǎo)作用。
  二、零點(diǎn)溫度補(bǔ)償
  稱重傳感器在無外載荷作用時的輸出稱為零點(diǎn)輸出。零點(diǎn)輸出受環(huán)境溫度影響,隨溫度變化而變化稱為零點(diǎn)溫度漂移。影響零點(diǎn)溫度漂移的因素很多,歸納起來主要有:彈性元件、電阻應(yīng)變計、應(yīng)變膠粘劑的線膨脹系數(shù)不同;彈性元件的縱向和橫向膨脹率不同;電阻應(yīng)變計敏感柵材料的電阻溫度系數(shù)不為零;各電阻應(yīng)變計的引出線及連接導(dǎo)線長度不同,在環(huán)境溫度發(fā)生變化時電阻應(yīng)變計敏感柵伸長或縮短引起電阻變化,直接影響稱重傳感器的輸出,產(chǎn)生較大的零點(diǎn)溫度漂移。就是采用溫度自補(bǔ)償電阻應(yīng)變計,由于其特性的分散以及粘貼、加壓、固化等工藝影響,仍不能全部抵消引起零點(diǎn)溫度漂移的各因素。減小零點(diǎn)溫度漂移最有效的方法,就是對稱重傳感器逐個進(jìn)行零點(diǎn)溫度補(bǔ)償。
  引起零點(diǎn)溫度漂移的各種因素的綜合影響,都可以看成是電橋四個橋臂電阻應(yīng)變計的電阻溫度系數(shù)不一致而造成的,由此即可總結(jié)出零點(diǎn)溫度補(bǔ)償原理和補(bǔ)償方法。首先要找出電橋中電阻溫度系數(shù)小的橋臂,并在其上串入一個電阻溫度系數(shù)大的零點(diǎn)溫度補(bǔ)償電阻 Rt,以提高這個橋臂總的電阻溫度系數(shù)。其次要通過計算或試驗(yàn)得出零點(diǎn)溫度補(bǔ)償電阻 Rt的合適值,串入橋臂后使四個橋臂的電阻溫度系數(shù)一致或接近,就可起到抵消零點(diǎn)溫度漂移,達(dá)到了零點(diǎn)溫度補(bǔ)償?shù)哪康摹A泓c(diǎn)溫度補(bǔ)償電路如圖 1 所示。
零點(diǎn)溫度補(bǔ)償電路eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
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  在實(shí)際應(yīng)用中,利用上述計算公式得到的零點(diǎn)溫度補(bǔ)償電阻值,對于準(zhǔn)確度等級不高的稱重傳感器基本能滿足補(bǔ)償要求。對于高準(zhǔn)確度稱重傳感器并不一定十分合適,需要經(jīng)過反復(fù)升降溫測試調(diào)整,才能獲得理想的零點(diǎn)溫度補(bǔ)償結(jié)果。
  零點(diǎn)溫度補(bǔ)償所用的電阻絲或金屬箔電阻片,實(shí)際上是一種熱敏電阻元件,要求溫度系數(shù)大、熱響應(yīng)快;在稱重傳感器使用溫度范圍內(nèi)具有良好的線性和電阻溫度特性;優(yōu)良的焊接性能。國內(nèi)外多選用電阻溫度系數(shù)較大的銅、鎳和鈷-鎳合金作為零點(diǎn)溫度補(bǔ)償電阻。銅的電阻溫度系數(shù)α=0.0041/℃,鎳 α=0.0068/℃,雖然鎳的電阻溫度系數(shù)較大,但其分散度也較大,而且焊接性能比銅差,所以銅電阻在零點(diǎn)溫度補(bǔ)償工藝中的應(yīng) 用 最 為 廣 泛 。 我 國 應(yīng) 用 較 多 的 是 直 徑 為φ0.10mm~φ0.12mm 的漆包銅絲和銅鎳合金零點(diǎn)溫度補(bǔ)償片。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
  三、零點(diǎn)輸出調(diào)整
  稱重傳感器多采用全橋式等臂電橋,其輸出電壓公式為
  一定的分散度,使粘貼在同一個彈性元件上的電阻應(yīng)變計的電阻值完全相同是不可能的,而且在粘貼、加壓和固化工藝過程中電阻值還會發(fā)生變化。這就造成了組成電橋四個橋臂的電阻應(yīng)變計的電阻值不同,甚至相差較大,導(dǎo)致稱重傳感器在無外載荷作用時產(chǎn)生較大的零點(diǎn)輸出。
這不僅給生產(chǎn)工藝流程中各項工序作業(yè)帶來較大困難,而且在使用過程中也不便于稱重顯示控制儀表調(diào)零,還會增大測量誤差。為使零點(diǎn)輸出接近于零,或控制在一個允許的誤差范圍內(nèi),必須對稱重傳感器逐個進(jìn)行零點(diǎn)輸出調(diào)整。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
  稱重傳感器零點(diǎn)輸出調(diào)整的方法是在無外載荷作用時,測量出零點(diǎn)輸出值,根據(jù)零點(diǎn)輸出值的極性和大小,來判斷零點(diǎn)輸出調(diào)整電阻 Rz應(yīng)串入哪個橋臂,串入多少電阻才能使電橋處于平衡狀態(tài)。零點(diǎn)輸出調(diào)整電路如圖 2 所示。
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設(shè)電橋各臂電阻 R1=R2=R3=R4=R。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 
   由于零點(diǎn)輸出調(diào)整電阻 Rz是串聯(lián)在電橋的橋臂上,因此對其精度和穩(wěn)定性要求比較嚴(yán)格,主要是電阻率 ρ 要高,電阻溫度系數(shù) α 要小,應(yīng)變靈敏系數(shù) K 要低。一般多采用直徑為 φ0.10mm~φ0.12mm 的漆包錳銅絲 (α=0.000015/℃) 或漆包康銅絲 (α=0.000020/℃)。
   GB/T 7551-2008 《稱重傳感器》 國家標(biāo)準(zhǔn)對零點(diǎn)輸出的要求是 C 級±1% (額定輸出),D 級±2% (額定輸出)。
   四、線性補(bǔ)償eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
   引起稱重傳感器輸出與其所測量的載荷之間不完全成線性關(guān)系的因素有:eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
   (1) 面積效應(yīng)影響受壓時彈性元件的剛度連續(xù)增大,而受拉時則剛度連續(xù)減小,這一論點(diǎn)是基于彈性模量保持恒定并與同時發(fā)生的密度變化無關(guān)的假設(shè)。然而,實(shí)際上是受壓時彈性模量稍稍增大,受拉時彈性模量稍微減小,結(jié)果使得面積效應(yīng)影響更加嚴(yán)重。雖然彈性模量的這種變化很小,以致在一般材料性能試驗(yàn)中難以檢測出來,但從現(xiàn)代稱重傳感器的準(zhǔn)確度等級來說,其影響仍然是顯著的。即使不考慮彈性模量隨應(yīng)力的變化,我們至少可以估算出由于面積變化引起的非線性誤差。當(dāng)圓柱式彈性元件的軸向應(yīng)變每變化 100με 時,面積變化所引起的非線性約為 0.003%。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
   (2) 泊松比效應(yīng)影響這是由于彈性元件受載后,軸向電阻應(yīng)變計電阻值的減小遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于橫向電阻應(yīng)變計電阻值的增加,致使電橋內(nèi)某一橋臂電阻的變化與相鄰橋臂電阻的反向變化不匹配,使得整個稱重傳感器的內(nèi)阻輕微減小,故流過橋臂的電流略增,從而破壞了電橋的“恒流”狀態(tài),引起電橋非線性誤差。圓柱式彈性元件的軸向應(yīng)變每變化 100με時,電橋的非線性約為 0.007%,此非線性誤差的符號總是與面積效應(yīng)引起的非線性誤差相反,因此泊松比效應(yīng)引起電橋的非線性不僅抵消了而且過度補(bǔ)償了面積效應(yīng)引起的非線性。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
   (3) 電阻應(yīng)變計的非線性即電阻應(yīng)變計靈敏系數(shù) K 隨著應(yīng)變量的增加而輕微變化,通常為應(yīng)變量增加 K 值降低。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
   (4) 彈性元件材料的非線性應(yīng)力應(yīng)變關(guān)系主要是彈性元件材料的誤差,當(dāng)應(yīng)變程度較高時,其應(yīng)力應(yīng)變關(guān)系并非完全線性,且滯后、蠕變及彈性模量不是理想的常數(shù),載荷增加時非線性也隨之加。      (5) 靈敏度溫度補(bǔ)償電阻 RMt和靈敏度一致性調(diào)整電阻 RS的影響RMt和 RS的接入輕微的改變了稱重傳感器輸出與外載荷的線性關(guān)系。
   稱重傳感器非線性誤差原因是上述幾項影響因素的綜合。受載后應(yīng)變區(qū)面積變化的彈性元件固有線性很差,如圓柱式、圓筒式彈性元件。與此相反,彎曲式和剪切式彈性元件,在承受等量拉伸和壓縮應(yīng)力時其容積一般是相等的,即應(yīng)變區(qū)面積不發(fā)生變化,因此固有線性好。對于固有線性差的稱重傳感器必須進(jìn)行線性補(bǔ)償,有兩類線性補(bǔ)償方法:第一類是在稱重傳感器上采取補(bǔ)償措施;第二類是在稱重儀表上采取補(bǔ)償措施。圓柱、圓筒式稱重傳感器和其它性能指標(biāo)都好,唯獨(dú)線性指標(biāo)不好的稱重傳感器,單獨(dú)使用時可通過稱重儀表進(jìn)行線性補(bǔ)償,批量生產(chǎn)時必須逐個在稱重傳感器內(nèi)部進(jìn)行線性補(bǔ)償。
   圓柱、圓筒式稱重傳感器在承受壓向載荷時,其輸出都成遞減的拋物線,可通過改變電橋電路的實(shí)際供橋電壓,來調(diào)整輸出值進(jìn)行線性補(bǔ)償,以達(dá)到提高線性度的目的。為此在圓柱式彈性元件應(yīng)變區(qū)內(nèi)位于電阻應(yīng)變計的上方,沿軸線方向?qū)ΨQ的粘貼兩片線性補(bǔ)償電阻應(yīng)變計 RL,并將它串聯(lián)在電橋的供橋電路中。當(dāng)圓柱式彈性元件承受壓向載荷時,非線性補(bǔ)償電阻應(yīng)變計因承受壓向應(yīng)變而使電阻值減小,電橋的供橋電壓Ui恒定不變,根據(jù)電阻分壓原理,線性補(bǔ)償電阻 RL減小,使得電橋的實(shí)際供橋電壓 UAC增大。隨著外載荷逐漸增大,非線性補(bǔ)償電阻 RL不斷減小,實(shí)際供橋電壓 UAC不斷增加,使電橋輸出呈遞增的拋物線。由前面的分析可知,圓柱式稱重傳感器的非線性誤差是遞減的拋物線,非線性補(bǔ)償后,電橋輸出的遞減和遞增互補(bǔ),而使實(shí)際輸出近似為直線,達(dá)到線性補(bǔ)償?shù)哪康摹>€性補(bǔ)償電路如圖 3 所示。
線性補(bǔ)償電路.
荷蘭 TNO 機(jī)械科學(xué)研究院對稱重傳感器進(jìn)行線性補(bǔ)償時,發(fā)現(xiàn)線性補(bǔ)償電阻 RL與其靈敏系數(shù)KL存在系列關(guān)系eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
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式中 R 為橋臂電阻值。從式 (7) 可以看出,為了得到盡量小的線性補(bǔ)償電阻 RL,就必須選擇盡量大的靈敏系數(shù) KL。大靈敏系數(shù)并能用于稱重傳感器線性補(bǔ)償?shù)闹挥邪雽?dǎo)體和鎳箔電阻應(yīng)變計。P 型半導(dǎo)體電阻應(yīng)變計的靈敏系數(shù)為 67~177,鎳箔電阻應(yīng)變計的靈敏系數(shù)為負(fù)數(shù),其值為 -12~-20,一般多選擇半導(dǎo)體電阻應(yīng)變計。
   由于彈性元件機(jī)械加工、熱處理和粘貼電阻應(yīng)變計等因素影響,稱重傳感器的固有非線性誤差分散較大,不能通過 3 只 ~5 只稱重傳感器進(jìn)行線性補(bǔ)償試驗(yàn),求得線性補(bǔ)償電阻 RL的平均值用于批量生產(chǎn)的線性補(bǔ)償中,必須逐個稱重傳感器進(jìn)行線性補(bǔ)償。一般線性補(bǔ)償方法為通過經(jīng)驗(yàn)公式計算出線性補(bǔ)償電阻值,將其增大 10%~15%就是線性補(bǔ)償半導(dǎo)體應(yīng)變計的過補(bǔ)償電阻值。進(jìn)行線性補(bǔ)償時,只需在線性過補(bǔ)償電阻上并聯(lián)一個金屬膜線性補(bǔ)償精調(diào)電阻,即可精確調(diào)整稱重傳感器的線性補(bǔ)償特性,達(dá)到線性補(bǔ)償?shù)哪康摹Qa(bǔ)償特性與許多因素有關(guān),半導(dǎo)體電阻應(yīng)變計線性補(bǔ)償電阻 RL計算公式如下:
K1-調(diào)整余量系數(shù),考慮到批量生產(chǎn)時,實(shí)測線性及各項因素的偏差,可以取 K1≥1.5。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
   在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)特別注意稱重傳感器非線性誤差的定義方法,也就是選擇哪一條擬合直線作標(biāo)準(zhǔn)直線,它直接影響線性補(bǔ)償精度。
國際法制計量組織 (OIML) 第 60 號國際建議 2000 年版之前,主要有兩種方法,其一是端點(diǎn)連線法,即以零點(diǎn)和滿載間所連接的直線作為標(biāo)準(zhǔn)擬合線,此方法直觀、簡便,但定義出的非線性誤差較大。其二是用最小二乘法求出的直線作為標(biāo)準(zhǔn)擬合線,定義出的非線性誤差較小,故比較合理。一個量程為 24.5t 的 C2P1型稱重傳感器,用第一種方法定義的非線性誤差為 0.05%,而用第二種方法定義的非線性誤差只有 0.033%,減少了三分之一。線性補(bǔ)償結(jié)果告訴我們,只有標(biāo)準(zhǔn)模擬合直線選取的科學(xué)合理,才能充分體現(xiàn)線性補(bǔ)償特性。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
等效執(zhí)行 OIML 第 60 號國際建議 2000 版的GB/T 7551-2008 《稱重傳感器》 國家標(biāo)準(zhǔn),對標(biāo)準(zhǔn)擬合直線作了明確規(guī)定“誤差包絡(luò)線以一條直線為基準(zhǔn),此直線是以 20℃時載荷試驗(yàn)中的兩個輸出確定的,一個是最小載荷輸出,另一個是遞增加載時取得的量程的 75%載荷時稱重傳感器的輸出”。此方法接近最小二乘法的標(biāo)準(zhǔn)擬合直線,可以得到較高的線性補(bǔ)償精度。
   目前,稱重傳感器線性補(bǔ)償方法主要有三種:
   (1) 在惠斯通電橋電路的輸入端,接入粘貼在彈性元件上的半導(dǎo)體過補(bǔ)償應(yīng)變計 RL,并在其上并聯(lián)一個線性補(bǔ)償精調(diào)金屬膜電阻,對 RL進(jìn)行精密調(diào)整。
   (2) 在惠斯通電橋電路的輸入端,接入粘貼在彈性元件上的鎳箔線性補(bǔ)償電阻應(yīng)變計,兼做靈敏度溫度補(bǔ)償電阻。
   (3) 利用非線性的盤狀膜片進(jìn)行線性補(bǔ)償,同時可兼作橫向力補(bǔ)償,見法國專利 No.1204850。
   五、靈敏度溫度補(bǔ)償
   早在 20 世紀(jì) 40 年代中期,美國和前蘇聯(lián)學(xué)者就注意到了溫度對測力指示儀器示值的影響,正確的分析了引起機(jī)械測力環(huán)溫度誤差的原因,并準(zhǔn)確測量出其修正系數(shù)為 0.027%/℃,時至今日還在續(xù)為各國所使用。同樣以金屬材料為彈性元件組成的稱重傳感器,其溫度誤差與之非常相似,只是影響因素更復(fù)雜一些,因?yàn)槌龔椥栽膺€有電阻應(yīng)變計、補(bǔ)償電阻、測量電路。
    荷蘭 TNO 機(jī)械院推導(dǎo)出的稱重傳感器靈敏度溫度誤差表達(dá)式為:
  不論是利用正應(yīng)力還是利用切應(yīng)力的稱重傳感器,其靈敏度溫度誤差是一個系統(tǒng)誤差,起主要影響的因素是彈性模量 E 的溫度系數(shù) βE。
因βE 為負(fù)值,所以環(huán)境溫度升高,彈性元件材料的彈性模量 E 降低,稱重傳感器的靈敏度增大,而產(chǎn)生靈敏度溫度誤差。γ 的影響主要取決于電阻應(yīng)變計敏感柵的電阻合金材料,在一定程度上取決于應(yīng)變粘接劑、固化工藝規(guī)范及敏感柵的幾何形狀。如果彈性元件材料,電阻應(yīng)變計敏感柵和基底材料以及制造工藝都一樣,圓環(huán)式結(jié)構(gòu)比圓柱式和剪切梁式結(jié)構(gòu)的靈敏度溫度誤差要小一些,大約小 6%左右。這說明稱重傳感器靈敏度溫度誤差的影響因素,主要是彈性元件材料的彈性模量E,其次是電阻應(yīng)變計靈敏系數(shù)和制造工藝,在相當(dāng)小的程度上與稱重傳感器彈性元件的結(jié)構(gòu)有關(guān)。對同一種彈性元件結(jié)構(gòu)而言,只要金屬材料、電阻應(yīng)變計和制造工藝不變,靈敏度溫度誤差的分散度比較小,一般小于 10%,這主要是制造和補(bǔ)償工藝引起的。
  稱重傳感器靈敏度溫度誤差經(jīng)典的補(bǔ)償方法是,在惠斯通電橋電路的輸入端串聯(lián)一個對溫度敏感的補(bǔ)償電阻 RMt,當(dāng)環(huán)境溫度升高時 RMt增大,盡管供橋電壓 Ui保持不變,但由于電阻分壓作用,使電橋的實(shí)際供橋電壓 UAC減小,從而導(dǎo)致靈敏度減小,這就對因溫度升高彈性模量降低靈敏度增大起到補(bǔ)償作用。因?yàn)樵陟`敏度溫度誤差中,βE起主領(lǐng)導(dǎo)作用,所以國外常把這項補(bǔ)償稱為模數(shù)補(bǔ)償。靈敏度溫度補(bǔ)償電路如圖 4 所示。

靈敏度溫度補(bǔ)償電路如圖eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司

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進(jìn)行靈敏度溫度補(bǔ)償時,首先分別測量出溫度 t1和 t2時稱重傳感器的靈敏度 S1和 S2,然后應(yīng)用下列公式計算補(bǔ)償電阻 RMt

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為了獲得較好的靈敏度溫度補(bǔ)償效果,一般都盡量減小補(bǔ)償電阻的阻值,選擇電阻溫度系數(shù)大的鎳、銅等材料作靈敏度溫度補(bǔ)償電阻 RMt。由于 αR很小,例如康銅箔電阻應(yīng)變計的電阻溫度系數(shù) αR=0.00002/℃,即 αR遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于 αM,可忽略不計,式 (10) 可簡化為:

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  實(shí)踐證明,對于普通準(zhǔn)確度級別的稱重傳感器,只要彈性元件結(jié)構(gòu)、尺寸、材料、電阻應(yīng)變計、制造工藝完全一樣,可以采用由抽樣方法經(jīng)過試驗(yàn)取得靈敏度溫度補(bǔ)償電阻最佳值進(jìn)行補(bǔ)償,而不必逐一反復(fù)測試調(diào)整。對于高準(zhǔn)確度稱重傳感器和在工作溫度變化大 (例如-15℃~50℃)的環(huán)境下工作的稱重傳感器,為了得到較高的補(bǔ)償精度,使其在工作溫度范圍內(nèi)具有較小的靈敏度溫度誤差,必須逐個進(jìn)行測試調(diào)整。此時焊入稱重傳感供橋電路的靈敏度溫度補(bǔ)償電阻 RMt應(yīng)比理論計算值大 10%~15%,為過補(bǔ)償。然后在其上并聯(lián)一個高精度、低溫度系數(shù)的金屬膜電阻 RP,來改善 RMt的非線性,通常稱為靈敏度溫度補(bǔ)償?shù)木€性化調(diào)整電阻。進(jìn)行補(bǔ)償時,可用精密電阻箱代替線性化調(diào)整電阻便于精密調(diào)整,待求得最佳調(diào)整電阻值時再用金屬膜電阻替換。必須強(qiáng)調(diào)指出,補(bǔ)償測試溫度點(diǎn)至少應(yīng)選取三點(diǎn),即最高工作溫度、最低工作溫度和常溫,而不易只選取常溫和最高工作溫度兩個點(diǎn),這是因?yàn)殪`敏度溫度補(bǔ)償鎳電阻與溫度不成線性關(guān)系。eg2廣州南創(chuàng)電子科技有限公司

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